製品案内


Products

半導体前工程・FPD・MEMSなどで使用する
フォトリソ関連の各種ウェット処理プロセス装置を設計・製作しております。

その他、カスタマイズされた装置の設計・製作もご相談ください。

新製品

CE-A150

コンパクト自動スピンエッチャー

薬液インラインミックス機能搭載。
ロボットを標準搭載した少量多品種向け生産機。

WSC-WA150 NM1S

枚葉式自動縦型両面
スクラブ洗浄装置

カセットtoカセットの枚葉式自動スピン洗浄装置

KE-450PP2

上下2段チャンバー搭載
枚葉式スピンエッチング装置

エッチング液の回収・リサイクルが可能。

WS-200

微細シリコン貫通電極用
洗浄装置

減圧環境下での薬液処理が可能。